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更新時間：2024-04-11 
瀏覽次數(shù)：771體積電阻率和表面電阻率
使用該電阻率校正系數(shù)，可以使用[公式3.5.1]和[公式3.5.2]計算體積電阻率和表面電阻率。
體積電阻率（單位：Ω·cm）是單位體積的電阻，根據(jù)領域的不同，表達方式也不同，
例如材料領域的體積電阻率、電子領域的比電阻、物理領域的電阻率等。
特定于（科學年表中列出）的物理量，用作許多材料電導率的絕對量度。
另一方面，表面電阻率（單位：Ω/□、Ω/sq.，發(fā)音為歐姆每平方）是單位面積的電阻，
也稱為方塊電阻或簡稱為表面電阻，用于涂層、薄膜等。它用于領域應特別注意表面電阻，
因為它可能與使用[公式3.5.2]轉換之前的電阻相混淆。
使用四點探針法的電阻率測量長期以來一直用于測量硅片，對于無限大（和無限薄）的樣品已確定值為 4.532。
我們針對矩形和圓形樣品確定了任意尺寸和測量位置的校正系數(shù)，并進行了實驗驗證。
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