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技術(shù)文章/ article
半導體清洗設備是清洗工藝中使用的設備的總稱，是半導體制造工藝之一。清洗工藝是重要工藝，占整個半導體制造工藝的30-40%。在高溫處理工序或薄膜形成工序之前，有作為前工序的清洗，除去污垢；在除去氧化物和薄膜的蝕刻工序之后，有作為后工序的清洗，除去抗蝕劑殘渣。半導體清洗設備大致分為使用化學品和純水的濕式清洗設備和不使用化學品的干式清洗設備。半導體清洗設備的應用半導體清洗設備用于半導體制造工廠的各種工藝中。它既用于在硅晶圓上形成半導體器件的預處理，也用于分離器件并封裝它們以制造最終...
步進曝光機是一種用于光刻（半導體和液晶制造工藝）的投射曝光設備。隨著IC電路圖案的小型化，制作全尺寸光掩模圖案變得困難。這是指在對大于實際尺寸的掩模圖案進行縮小投影曝光時進行分步重復曝光的曝光設備步進機是一種曝光設備，通過執(zhí)行步進和重復來曝光整個待曝光區(qū)域。步進機的使用步進機用于半導體和液晶的制造，特別是用于光刻過程中使用掩模的曝光處理。步進法包括步進重復法和步進重復法，其中，由于一次可以轉(zhuǎn)移的面積較小，因此在步進時將晶圓順序曝光；以及步進重復法，其中稱為掃描儀的標線和存在一...
電子束光刻設備是半導體光掩模生產(chǎn)中利用電子束在光掩模毛坯（以下簡稱毛坯）上繪制電路圖形的設備。在存儲器、CPU等LSI的制造中，將分割為數(shù)十層的光掩模作為母板，使用曝光裝置將光掩模上的圖案轉(zhuǎn)印到晶圓上來制作電路。光掩模的質(zhì)量對LSI良率影響最大。因此，在光掩模上繪制圖案的電子束光刻設備可以說是LSI制造中最重要的設備之一。電子束光刻設備的應用電子束光刻設備用于在制造光掩模以及制造MEMS等納米技術(shù)產(chǎn)品時在毛坯上繪制電路圖案。在LSI制造過程中，掩模制造涉及將設計過程中創(chuàng)建的電...
ALD（沉積）設備是利用原子層沉積形成納米級薄膜的設備。由于薄膜是按原子逐層形成的，因此具有精確的膜厚可控性和精確的階梯涂布性能。但缺點是成膜速度慢。ALD成膜中使用了許多有機金屬材料，但其中許多材料對人體有負面影響，并且高度易燃。處理需要專業(yè)知識和極其小心。ALD設備的應用ALD設備常用于半導體生產(chǎn)工藝、FPD生產(chǎn)工藝等。近年來，這項技術(shù)已成為DRAM生產(chǎn)中的一部分。以下是使用ALD裝置形成的薄膜的例子。1.柵極氧化膜形成FET等晶體管時必需的具有高介電常數(shù)的薄膜。主要采用...
超連續(xù)譜光源（SC光源）又稱超連續(xù)譜激光器，是發(fā)射特殊激光的光源。激光是指具有相同相位的光，即相干光。普通激光器發(fā)射單一波長的光，但SC光源是多波長激光光源，可在很寬的波長范圍內(nèi)同時發(fā)射多束相位對齊的光。據(jù)說，當不同波長的光重疊時，光會變成白色。SC光源發(fā)出的激光是相干光，由于包含各種波長的光，因此被稱為白激光。SC光源通過將極短的納秒或皮秒周期的強大脈沖激光穿過光纖電纜來產(chǎn)生這種光。超連續(xù)譜光源的應用SC光源發(fā)出較寬波長范圍的相位對準光，因此被用于光學相干斷層掃描（OCT）...
高側(cè)驅(qū)動器是電子電路中使用的電路結(jié)構(gòu)，是驅(qū)動電源與負載之間的開關(guān)元件的驅(qū)動器。被驅(qū)動的開關(guān)元件稱為高側(cè)開關(guān)，控制高側(cè)開關(guān)來接通/斷開電源以及向負載提供或斷開電流。另一方面，驅(qū)動負載和接地之間的開關(guān)元件的驅(qū)動器稱為低側(cè)驅(qū)動器。為了將電流傳遞到各種負載，高側(cè)驅(qū)動器和低側(cè)驅(qū)動器各自具有各自的電路特性。高邊驅(qū)動器的使用高側(cè)驅(qū)動器廣泛應用于電子電路中。通常用于逆變器、電源開/關(guān)電路、LED驅(qū)動器以及電機和螺線管等感性負載驅(qū)動器。高側(cè)驅(qū)動器通常用于向負載流過大電流，因此在設計時需要考慮浪...
HID泛光燈是高亮度放電泛光燈的總稱，區(qū)別于采用LED作為光源的照明。HID泛光燈使用多種類型的光源，包括汞、金屬鹵化物和鹵素。HID是高強度放電的縮寫。另一方面，泛光燈是一種利用反射鏡或透鏡向特定方向發(fā)出強光的照明裝置。每種光源都有不同的特性，例如壽命和功耗，因此選擇適合您的預期用途的光源非常重要。HID泛光燈的應用泛光燈的特點是發(fā)光強度大、亮度高。由于可以自由確定光的發(fā)射方向，因此它用于需要將照射位置調(diào)整到任意位置的地方，而不是用于照射位置固定的地方，例如路燈。但根據(jù)使用...
旋轉(zhuǎn)激光器是一種使用激光的整平裝置。名稱因制造商而異，有時也稱為激光水平儀。找平就是把東西找平，是建筑工地上非常重要的一道工序。如果地板和窗框不水平，建筑物的結(jié)構(gòu)就不干凈。旋轉(zhuǎn)激光器在旋轉(zhuǎn)時發(fā)射激光束，并且可以通過接收器接收來輕松調(diào)平。可在戶外大面積或傾斜區(qū)域使用。旋轉(zhuǎn)激光器的應用使用旋轉(zhuǎn)激光器進行調(diào)平。首先，安裝旋轉(zhuǎn)激光器，并在大范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)的同時發(fā)射激光。通過在要檢查水平度的位置安裝接收器并接收激光束，可以輕松完成調(diào)平。使用旋轉(zhuǎn)激光器可以讓一個人同時工作和測量多個位置。確認...
模具溫度控制器是在注塑、擠出成型和其他塑料制品成型過程中保持模具溫度恒定的裝置。模具的溫度不僅受季節(jié)波動的影響，還受到早晚溫差的影響。為了穩(wěn)定成型產(chǎn)品的質(zhì)量，需要使用模具溫度控制器來保持模具溫度恒定。它也類似于模具冷卻器。模具冷卻機專門通過循環(huán)冷水來降低模具的溫度。另一方面，模具溫度控制器不僅使用水，還使用油作為循環(huán)介質(zhì)，不僅在低溫下，而且在100°C以上的溫度下也能保持恒定的模具溫度。模溫機的應用模具溫度過高或過低對成型制品的質(zhì)量影響很大。模具溫度低會造成流痕、裂紋、光澤差...
導熱片是指導熱性能優(yōu)良的片材，也稱為散熱片。它們通常由有機硅或丙烯酸等樹脂制成，并與金屬填料復合以提高導熱性。還有一些產(chǎn)品含有陶瓷填料并強調(diào)電絕緣性。由于它是片狀的，因此具有柔韌性和優(yōu)異的粘合性，并且由于能夠傳遞來自高發(fā)熱元件的熱量，因此還具有阻燃性等特性。導熱片的應用它們被夾在安裝在各種電器中的IC芯片和電池等發(fā)熱元件與散熱器等散熱元件之間使用。由于其粘合性較輕，因此可以按原樣保持加熱元件和散熱部件，但為了充分發(fā)揮性能，粘合性很重要，因此通常使用與其他部件的保持結(jié)構(gòu)。向壓縮...
熱交換涂料是一種隔熱涂料，主要用于抑制陽光熱量引起的溫度升高。有些抑制溫度上升的涂料具有反射光的機制，但熱交換涂料通過與光反射不同的機制來阻擋熱量。涂在建筑物外墻上以防止熱量從外部進入的涂料稱為熱障涂料。典型的熱障涂料通過反射來自外部的陽光來阻擋熱量，但在這種情況下，陽光的反射率可能會由于涂料表面的污垢而下降，或者反射光可能會對周圍環(huán)境造成危害。另一方面，熱交換涂料通過使用涂料內(nèi)的熱交換物質(zhì)將太陽光能轉(zhuǎn)化為動能來提供熱屏蔽。熱交換涂料不反射陽光，對周圍環(huán)境影響很小，屬于環(huán)保涂...
面板儀表是一種以數(shù)字或模擬格式顯示輸入信號的設備。目前，數(shù)字面板儀表是主流，除了電壓和電流外，旋轉(zhuǎn)量、速度、流量、溫度等各種傳感器輸出的模擬信號都可以轉(zhuǎn)換為數(shù)字并顯示，也可以內(nèi)部記錄。設備具有與其他設備通信并發(fā)送和接收數(shù)據(jù)的能力。顯示面板包括使用多個7段LED、黑白或彩色LCD顯示器的面板以及使用傳統(tǒng)模擬儀表的面板。面板儀表的使用LCD型面板儀表不僅可以顯示數(shù)值，還可以顯示各種條形圖和折線圖，因此被用于各種場合。例如，工廠中可以測量電流和電壓的數(shù)字面板表，以每秒數(shù)千次的采樣速...
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